半導(dǎo)體封裝燒結(jié)石墨模具

1)嚴(yán)格控制石墨模具原料的內(nèi)在質(zhì)量。

2)改進(jìn)鍛造和球化退火工藝，消除網(wǎng)狀、帶狀和鏈狀碳化物，提高球化組織的均勻性。、

3)機(jī)加工或冷塑性變形后，石墨模具應(yīng)進(jìn)行去應(yīng)力退火(> 600℃)，然后加熱淬火。

4)對(duì)于形狀復(fù)雜的石墨模具，應(yīng)采用石棉塞住螺紋孔，包扎危險(xiǎn)截面和薄壁，并采用分級(jí)淬火或等溫淬火。

5)修理或翻新石墨模具時(shí)需要退火或高溫回火。

6)石墨模具淬火加熱時(shí)要預(yù)熱，冷卻時(shí)要預(yù)冷，并選擇合適的淬火介質(zhì)。

7)應(yīng)嚴(yán)格控制淬火加熱溫度和時(shí)間，防止石墨模具過熱過燒。

8)石墨模具淬火后要及時(shí)回火，保溫時(shí)間要充分。高合金復(fù)合石墨模具要回火2-3次。

9)選擇正確的磨削工藝和合適的砂輪。

10)改進(jìn)石墨模具電火花加工工藝，進(jìn)行去應(yīng)力回火。