石墨涂層在半導(dǎo)體封裝石墨模具上的應(yīng)用領(lǐng)域

液態(tài)硅膠半導(dǎo)體封裝石墨模具表面不粘膠石墨陶瓷涂層技術(shù)分享半導(dǎo)體封裝石墨模具石墨涂層在半導(dǎo)體封裝石墨模具上的應(yīng)用領(lǐng)域

由于石墨涂層含有金剛石成分，通常的涂層厚度:1~6μm；石墨具有很多優(yōu)良的特性：高硬度-60GPa或Hv6000以上；低摩擦系數(shù)約為0.06；極好的膜層致密性；良好的化學(xué)穩(wěn)定性、極佳的散熱性以及良好的光學(xué)性能等。

如應(yīng)用于各種半導(dǎo)體封裝石墨模具、精密部件及切削工具上，石墨涂層所表現(xiàn)出的特殊性能遠(yuǎn)超過(guò)其它硬質(zhì)涂層。石墨是新一代硬質(zhì)涂層技術(shù)和應(yīng)用的典型代表以及發(fā)展方向。石墨類金剛石膜素以優(yōu)秀的摩擦學(xué)性能著稱，比如說(shuō)，此類材料通常具有很高的耐磨性和很低的摩擦系數(shù)。石墨涂層的制備可通過(guò)使用多種不同的技術(shù)來(lái)實(shí)現(xiàn)。此過(guò)程有一個(gè)非常重要的特點(diǎn)，那就是這些非晶涂層在相對(duì)較低的襯底溫度（<200℃）下完成沉積。

涂層的結(jié)構(gòu)與組分，以及涂覆過(guò)程所使用的工藝將決定這些涂層的屬性。由于這些可實(shí)現(xiàn)的屬性所覆蓋的范圍甚廣，石墨涂層在很多方面均大有用武之地。由于兼具了很高的耐磨性和杰出的摩擦性能及抗粘附性，石墨涂層將是摩擦組件與工具表面處理過(guò)程的理想選擇半導(dǎo)體封裝石墨模具石墨類金剛石膜層性能：

1、具有很高的硬度，優(yōu)良的耐磨性能。

2、摩擦系數(shù)低，與基體結(jié)合力強(qiáng)，膜層涂覆均勻。

3、具有優(yōu)異的耐蝕性，能耐各種酸、堿等腐蝕；環(huán)保無(wú)毒。

4、對(duì)金屬、塑料、橡膠、陶瓷等均有良好的抗粘結(jié)和防咬合性能。

5、表面粗糙度低，可在各種鋼鐵、鈦合金、銅鋁合金、硬質(zhì)合金、陶瓷等材料上沉積。